MPU-6500是全球首例9轴运动处理传感器。它集成了3轴MEMS陀螺仪,3轴MEMS加速度计,
上传时间: 2019-12-07
上传用户:finezwl
微机电系统(MEMS)器件的构成涉及微电子、微机械、微动力、微热力、微流体学、材料、物理、化学、生物等多个领域,形成了多能量域并交叉耦合。为其产品的建模、仿真以及优化设计带来了较大的难度。由于静电驱动的原理简单使其成为MEMS器件中机械动作的主要来源。而梳齿结构在MEMS器件中有广泛的应用:微谐振器、微机械加速度计、微机械陀螺仪、微镜、微镊、微泵等。所以做为MEMS的重要驱动方式和结构形式,静电驱动梳齿结构MEMS器件的耦合场仿真分析以及优化设计对MEMS的开发具有很重要的意义。本课题的研究对静电驱动梳齿结构MEMS器件的设计具有较大的理论研究意义。 本文的研究工作主要包括以下几个方面: 1、采用降阶宏建模技术快速求解静电梳齿驱动器静电-结构耦合问题,降阶建模被用于表示微谐振器的静态动态特性。论文采用降阶建模方法详细分析了静电梳齿驱动器的各参数对所产生静电力以及驱动位移的关系;并对静电梳齿驱动器梳齿电容结构的静电场进行分析和模拟,深入讨论了边缘效应的影响;还对微谐振器动态特性的各个模态进行仿真分析,并计算分析了前六阶模态的频率和谐振幅值。仿真结果表明降阶建模方法能够快速、准确地实现多耦合域的求解。 2、从系统角度出发考虑了各个子系统对叉指式微机械陀螺仪特性的影响,系统详细地分析了与叉指状微机械陀螺仪性能指标-灵敏度密切相关的结构特性、电子电路、加工工艺和空气阻尼,并在此分析的基础上建立了陀螺的统一多学科优化模型并对其进行多学科优化设计。将遗传算法和差分进化算法的全局寻优与陀螺仪系统级优化相结合,证实了遗传算法和差分进化算法在MEMS系统级优化中的可行性,并比较遗传算法和差分进化算法的优化结果,差分进化算法的优化结果较大地改善了器件的性能。 3、从系统角度出发考虑了各个子系统对梳齿式微加速度计特性的影响,在对梳齿式微加速度计各个学科的设计要素进行分析的基础上,对各个子系统分别建立相对独立的优化模型,采用差分进化算法和多目标遗传算法对其进行优化设计。证实了差分进化算法和多目标遗传算法对多个子系统耦合的系统级优化的可行性,并比较了将多目标转换为单目标进行优化和采用多目标进行优化的区别和结果,优化结果使器件的性能得到了改善。
上传时间: 2013-05-15
上传用户:zhangjinzj
对于采用MEMS加速度计和陀螺仪的工业系统而言,优化带宽可能是关键考虑因素。这代表着精度(噪声)与响应时间之间的一种经典权衡。虽然多数MEMS传感器制造商都会给出典型带宽指标,往往还需要验证传感器或整个系统的实际带宽。在确定加速度计和陀螺仪的带宽特性时,一般需要使用振动台或其他机械激励源。要精确确定特性,需要全面了解应用于受测器件(DUT)的运动。在此过程中需要管理多种潜在误差源。在机械带宽测定中,一个常见的误差源是谐振。导致机械谐振的原因有多种,包括激励源维护不当、DUT与激励源耦合不良以及基准传感器放置等。这些误差的隔离十分耗时,可能给至关重要的项目进度带来风险。
上传时间: 2013-11-01
上传用户:王小奇
意法半导体已售出超过140亿个微机电传感器,提供业界最全面的MEMS系列产品,包括加速度计、陀螺仪、数字罗 盘、惯性模块、MEMS麦克风和环境(包括压力、温度和湿度)传感器。独特的传感器产品组合,从分立式到集成式解决方案,满足了所有设计需求• 大批量生产能力,实现了极具成本竞争力的解决方案、快速的面市时间和高供货安全性• 高性能传感器融合,提高了多轴传感器系统的准确度,从而实现了新兴、高求应用,例如室内导航和位置服务• 高质量产品已经在不同应用领域完成测试,包括移动、便携式、游戏、消费类、汽车和保健行业• 多个生产基地专注于MEMS,公司内部具备完善的供货能力,保证100%的供货安全
上传时间: 2022-07-07
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ADIS16480是一款MEMS惯性测量单元(IMU),内置一个三轴加速度计、一个三轴陀螺仪、一个三轴磁力计和一个气压计。除了提供完全校准、帧同步的惯性MEMS传感器,ADIS16480还集成了一个扩展卡尔曼滤波器(EKF),可计算动态方位角。
上传时间: 2013-10-22
上传用户:上善若水
HT82M75REW / HT82D40REW 工作电压:鼠标 3V / 软件狗(接收器)5V 移动探测器:陀螺仪或光学 传感器分辨率:0.15°/s;蓝色光 工作电流:鼠标 21mA / 接收器 37mA 通信频率:2.4GHz 无线通信范围:大约 12m
上传时间: 2013-07-22
上传用户:thinode
小车,直立行走,采用陀螺仪等传感器,顶顶顶顶
标签: 自平衡
上传时间: 2013-04-24
上传用户:wsm555
电子罗盘模块.
上传时间: 2013-11-07
上传用户:凌云御清风
为了提高全国大学生智能汽车竞赛创新性和趣味性,激发高校学生参与比赛的兴趣,提高学生的动手能力、创新能力和接受挑战能力,智能汽车竞赛组委会将电磁组比赛规定为车模直立行走,如图1- 1所示。其它两个组别的车模行走方式保持不变。
上传时间: 2013-10-18
上传用户:苏苏苏苏
文中以第七届"飞思卡尔"杯大学生智能车竞赛为背景,以飞思卡尔MC9S12XS128单片机为核心,设计了一种自平衡巡线智能车系统。本设计基于倒立摆的动力学模型,经过卡尔曼滤波算法对陀螺仪和加速度计的输出信号进行处理得到智能车的角速度和倾角,再通过PID运算处理后的输出控制智能车的平衡、前进和转向。实验及实际比赛表明,本智能车系统可稳定运行,具有速度快,转向灵活,抗干扰性强的特点
上传时间: 2013-10-08
上传用户:CHENKAI