MEMS真空封装是提高MEMS惯性器件性能的主要手段。本文应用实验方法，在真空熔焊工艺设备上研究了MEMS器件金属外壳真空封装工艺。对不同镀层结构的外壳进行了封装实验比较和气密性测试，结果发现，金属外壳表面镀Ni和镀Au或管座表面镀Ni和Au、管帽表面镀Ni可有效的提高真空封装的气密性和可靠性，其气密性优于5×10-9 Pa·m3／s。封装样品的高低温循环实验和真空保持特性的测量结果说明，金属外壳真空熔焊工艺可基本满足MEMS器件真空封装工艺的要求，并测得真空度为5 Pa—15 Pa左右。MEMS陀螺仪的封装应用也说明了工艺的可行性。
上传时间： 2016-07-26
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MEMS陀螺在红外成像系统中的研究应用_韩颖
上传时间： 2017-01-17
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设计电路编写程序运用无人机加速度计、陀螺仪和磁力计数据采集飞行过程中的坐标加速度位置
上传时间： 2019-05-12
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GY-91 MPU9250+BMP280 10DOF九轴传感器模块加速度陀螺仪测试软件源码+相关硬件技术手册
上传时间： 2021-10-25
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LSM6DS3 是系统级封装的 3D 数字加速度计和 3D 数字陀螺仪，具有数字 I2C/SPI 串口标准输出，在组合正常工作模式下 6 轴功耗 0.9 mA，在组合高性能工作模式下 6 轴功耗 1.25mA （数据输出速率可达到 1.6 kHz）。由于陀螺仪和加速度计均具有超低噪声性能，始终具有低功耗特性，并结合了高传感精度，因此能够为客户提供最佳运动体验。此外，加速度计具有智能的休眠到唤醒 （活动）和返回休眠 （不活动）功能，具有先进的节电能力。
上传时间： 2021-11-13
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MPU6050中文资料，六轴陀螺仪，带寄存器。
上传时间： 2021-12-22
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关于陀螺仪的资料，使用时可以进行查看有关的资料GY-521_MPU6050模块_三维角度传感器6DOF_三轴加速度计电子陀螺仪
上传时间： 2022-04-09
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GJB 8898-2017-光纤陀螺仪通用规范，最新有效版，是光纤陀螺仪研发生产的指导性文件。网上目前查找到的唯一一份电子版。本规范规定了光纤陀螺仪的通用要求。 本规范适用于光纤陀螺仪。
上传时间： 2022-04-24
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陀螺仪传感器MPU6050模块AD版原理图+PCB[2层]文件，ad 设计的工程文件，包括原理图及PCB印制板图，可以用Altium Designer(AD)软件打开或修改，可作为你产品设计的参考。
上传时间： 2022-05-13
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ASM330LHH陀螺仪源代码：寄存器配置和读写操作。
上传时间： 2022-05-22
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