对基于BCB的圆片级封装工艺进行了研究，该工艺代表了MEMS加速度计传感器封装的发展趋势，是MEMS加速度计产业化的关键。选用3000系列BCB材料进行MEMS传感器的粘结键合工艺试验，解决了圆片级封装问题，在低温250 ℃和适当压力辅助下≤2.5 bar（1 bar=100 kPa）实现了加速度计的圆片级封装，并对相关的旋涂、键合、气氛、压力等诸多工艺参数进行了优化。
资源简介： 对基于BCB的圆片级封装工艺进行了研究，该工艺代表了MEMS加速度计传感器封装的发展趋势，是MEMS加速度计产业化的关键。选用3000系列BCB材料进行MEMS传感器的粘结键合工艺试验，解决了圆片级封装问题，在低温250 ℃和适当压力辅助下≤2.5 bar（1 bar=100 k...
上传时间： 2013-11-17
上传用户：JasonC
资源简介：选用4000系列BCB材料进行MEMS传感器的粘接键合工艺试验，解决了圆片级封装问题，采用该技术成功加工出具有三层结构的圆片级封装某种惯性压阻类传感器。依据标准GJB548A对其进行了剪切强度和检漏测试，测得封装样品漏率小于5×10pa·cm3／s，键合强度大于49 N...
上传时间： 2016-07-26
上传用户：leishenzhichui
资源简介：提出一种基于单片机AT89S52控制的数字频率计的设计新方法。该方法将待测频率信号经过整形放大后输入单片机，然后由单片机控制内部计数器分别对待测信号和标准信号同时计数，再经运算处理得到测量结果，可自动量程转换，并由1602ALED显示器实时显示。该设计与...
上传时间： 2013-10-22
上传用户：erkuizhang
资源简介：一高效基于主键值的文件型数据库
上传时间： 2013-12-25
上传用户：busterman
资源简介：此程序基于gw48开发系统的实验频率计，无需修改即可编译运行。其他平台稍加修改同样适用
上传时间： 2013-12-19
上传用户：erkuizhang
资源简介：基于曲线拟合的笔迹存储和绘制方法的研究.
上传时间： 2016-10-02
上传用户：siguazgb
资源简介：基于曲线拟合的频率特性测试方法研究，采用Multitone信号作为测试信号。
上传时间： 2014-12-20
上传用户：asasasas
资源简介：文档为基于ARM7及uClinux的电子智能计步器的设计总结文档，是一份不错的参考资料，感兴趣的可以下载看看，，，，，，，，，，，，，
上传时间： 2022-06-25
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资源简介：ADIADXL362微功耗三轴MEMS加速度计解决方案
上传时间： 2022-07-05
上传用户：canderile
资源简介：基于有限单元法的三角剖分圆的MATLAB程序
上传时间： 2016-05-26
上传用户：zgu489
资源简介：结合典型的焊料键合MEMS真空封装工艺，应用真空物理的相关理论，建立了封装腔体的真空度与气体吸附和解吸、气体的渗透、材料的蒸气压、气体通过小孔的流动等的数学模型，确定了其数值模拟的算法．通过实验初步验证了模拟结果的准确性，分析了毛细孔尺寸对腔体...
上传时间： 2016-07-26
上传用户：leishenzhichui
资源简介：ADXL345是ADI公司生产的一款超低功耗3轴加速度计，广泛应用于手机、医疗仪器、游戏和定点设备、工业仪器仪表及个人导航设备领域，他的分 辨率高达13位，测量范围达± 16g。数字输出数据为16位二进制补码格式，可通过SPI(3线或4线)或I2C数字接口访问。ADXL345...
上传时间： 2013-11-07
上传用户：moerwang
资源简介：LSM6DS3 是系统级封装的 3D 数字加速度计和 3D 数字陀螺仪，具有数字 I2C/SPI 串口标准输出，在组合正常工作模式下 6 轴功耗 0.9 mA，在组合高性能工作模式下 6 轴功耗 1.25mA （数据输出速率可达到 1.6 kHz）。由于陀螺仪和加速度计均具有超低噪声性能，始终...
上传时间： 2021-11-13
上传用户：wangshoupeng199
资源简介：多项式拟合的一个小例子，入门级的。好懂。
上传时间： 2016-08-31
上传用户：chenxichenyue
资源简介：提出了一种基于微加速度计的无线惯性鼠标的设计方案。该方案以微加速度计ADXL213 作为信号检测元件,并采用低功耗处理器MSP430F135 和RF 芯片nRF401 进行信号处
上传时间： 2013-04-24
上传用户：AbuGe
资源简介：这是基于在linux系统下基于PXA255平台的加速度计的驱动程序以及加速度计的测试程序。
上传时间： 2016-12-30
上传用户：wcl168881111111
资源简介：用于MEMS芯片封盖保护的金-硅键合新结构，与器件制造工艺兼容!键合温度低!有足够的键合强度，不损坏器件结构，实现了MEMS器件的芯片级封装。
上传时间： 2016-07-26
上传用户：leishenzhichui
资源简介：MEMS的加速度计-陀螺仪的原理详解
上传时间： 2022-07-01
上传用户：
资源简介：基于单片机的数字频率计的设计
上传时间： 2013-06-16
上传用户：eeworm
资源简介：专辑类-单片机专辑-258册-4.20G 基于单片机的数字频率计的设计-68页-0.7M.pdf
上传时间： 2013-07-09
上传用户：nbdedu
资源简介：微机电系统（MEMS）器件的构成涉及微电子、微机械、微动力、微热力、微流体学、材料、物理、化学、生物等多个领域，形成了多能量域并交叉耦合。为其产品的建模、仿真以及优化设计带来了较大的难度。由于静电驱动的原理简单使其成为MEMS器件中机械动作的主要来...
上传时间： 2013-05-15
上传用户：zhangjinzj
资源简介：基于51单片机的120MHz频率计原理图，8个数码管使用7219作为驱动，单片机采用89C2051。
上传时间： 2013-05-15
上传用户：13913148949
资源简介：基于51单片机的数字频率计,里面有源代码与proteus仿真模型，可以作为学习参考之用^_^
上传时间： 2013-07-03
上传用户：akk13
资源简介：基于FPGA的数字频率计的设计11利用VHDL 硬件描述语言设计,并在EDA(电子设计自动化) 工具的帮助下,用大规模可编程逻辑器件(FPGA/ CPLD) 实现数字频率计的设计原理及相关程序
上传时间： 2013-08-06
上传用户：taozhihua1314
资源简介：项目的研究内容是对硅微谐振式加速度计的数据采集电路开展研究工作。硅微谐振式加速度计敏感结构输出的是两路差分的频率信号，因此硅微谐振式加速度计数据采集电路完成的主要任务是测出两路频率信号的差值。测量要求是：实现10ms内对中心谐振频率为20kHz、标...
上传时间： 2013-08-11
上传用户：csgcd001
资源简介：用vhdl编写的基于fpga的数字频率计程序算法
上传时间： 2013-09-07
上传用户：chfanjiang
资源简介：对于采用MEMS加速度计和陀螺仪的工业系统而言，优化带宽可能是关键考虑因素。这代表着精度(噪声)与响应时间之间的一种经典权衡。虽然多数MEMS传感器制造商都会给出典型带宽指标，往往还需要验证传感器或整个系统的实际带宽。在确定加速度计和陀螺仪的带宽特性...
上传时间： 2013-11-01
上传用户：王小奇
资源简介：通过单个加速度计增强计步器的性能
上传时间： 2013-10-17
上传用户：jcljkh
资源简介：基于51单片机的数字频率计资料
上传时间： 2014-12-24
上传用户：cylnpy
资源简介：基于nRF24L01的无线加速度传感器在振动监测中的应用
上传时间： 2014-12-25
上传用户：gdgzhym
