对基于BCB的圆片级封装工艺进行了研究，该工艺代表了MEMS加速度计传感器封装的发展趋势，是MEMS加速度计产业化的关键。选用3000系列BCB材料进行MEMS传感器的粘结键合工艺试验，解决了圆片级封装问题，在低温250 ℃和适当压力辅助下≤2.5 bar（1 bar=100 kPa）实现了加速度计的圆片级封装，并对相关的旋涂、键合、气氛、压力等诸多工艺参数进行了优化。
标签： MEMS BCB 键合 加速度计
上传时间： 2013-11-17
上传用户：JasonC
模电函数发生器课程设计报告, 现在我们通过对函数信号发生器的原理以及构成设计一个能变换出三角波、正弦波、方波的简易发生器。我们通过对电路的分析，参数的确定选择出一种最适合本课题的方案。在达到课题要求的前提下保证经济、方便、优化的设计策略。
标签： 模电函数发生器 报告
上传时间： 2014-01-14
上传用户：qiao8960
彩条信号发生器
标签： 单片机 视频信号 发生器
上传时间： 2013-10-08
上传用户：litianchu
信号发生器输出幅值与输出阻抗的关系
标签： 信号发生器 输出 幅值 输出阻抗
上传时间： 2014-12-03
上传用户：luke5347
简易DDS波形发生器设计
标签： DDS 波形发生器
上传时间： 2014-01-12
上传用户：hxy200501
DDS波形发生器
标签： 9834 AD 波形发生器
上传时间： 2014-12-23
上传用户：wsf950131
ADXL345是一款小巧纤薄的低功耗三轴加速度计，可以对高达±16 g的加速度进行高分辨率（13位）测量。数字输出数据为16位二进制补码格式，可通过SPI（3线或4线）或者I2C数字接口访问。
标签： ADuC 7024 ADXL 345
上传用户：Andy123456
通过单个加速度计增强计步器的性能
标签： 加速度计 计步器 性能
上传时间： 2013-10-17
上传用户：jcljkh
信号发生器
标签： 信号发生器
上传时间： 2013-10-20
上传用户：集美慧
序列信号发生器与序列信号检测器的设计详细版
标签： 序列信号 发生器 检测器
上传时间： 2013-11-07
上传用户：yeling1919
