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光激光拾自谐振传感器的光学特性及优化设计

  • 资源大小:336 K
  • 上传时间: 2024-03-17
  • 上传用户:d1997wayne
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: 模型

资 源 简 介

建立了光激、光拾自谐振多晶硅微机械传感器的多层膜系模型, 利用该模型对传感器的光学特性进行了理论分析, 并对传感器谐振微梁厚度和空腔高度进行了优化1
关键词 自谐振; 菲涅耳系数矩阵; 光电激励

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