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RF-MEMS器件及其关键工艺技术

  • 资源大小:223 K
  • 上传时间: 2023-10-25
  • 上传用户:moh2000
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: RF-MEMS 器件 及其

资 源 简 介

RF-MEMS 不仅在体积上小于传统射频器件,易于单片集成,且其性能也优于传统
射频器件,此外,RF-MEMS 还可以实现器件多功能配置,如可重构天线。因此,RF-MEMS近年来已成为全世界范围

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