Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) are miniature systems composed ofintegratedelectricalandmechanicalpartstosenseand/orcontrolthingsonaµmscale. The concept of MEMS is attributed to Richard Feynman’s famous talk on December 29th, 1959 [2,3]. Dr. Feynman foresaw many aspects of future MEMS development with his insight in microphysics. In particular, material properties in the µm scale are differentfrombulkpropertiesandthescalingdownofintegratedcircuits(IC)fabrication technology has been a major driving force of MEMS development.
标签： Performance High MEMS RF
上传时间： 2020-06-06
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Over many years, RF-MEMS have been a hot topic in research at the technology and device level. In particular, various kinds of mechanical Si-MEMS resonators and piezoelectric BAW (bulk acoustic wave) resonators have been developed. The BAW technology has made its way to commercial products for passive RF filters, in particular for duplexers in RF transceiver front ends for cellular communica- tions. Beyond their use in filters, micromachined resonators can also be used in conjunction with active devices in innovative circuits and architectures.
标签： MEMS-based Circuits Systems and
上传时间： 2020-06-06
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these pdf gives introduction to mems devices used in rf field
标签： introduction devices these gives
上传时间： 2017-05-09
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Bluetooth RF测试－正确的无线电设计测试
上传时间： 2013-04-15
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专辑类-超声-红外-激光-无线-通讯相关专辑-183册-1.48G Bluetooth-RF测试－正确的无线电设计测试-9页-0.6M.pdf
标签： Bluetooth-RF 0.6 测试
上传时间： 2013-04-24
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微机电系统（MEMS）器件的构成涉及微电子、微机械、微动力、微热力、微流体学、材料、物理、化学、生物等多个领域，形成了多能量域并交叉耦合。为其产品的建模、仿真以及优化设计带来了较大的难度。由于静电驱动的原理简单使其成为MEMS器件中机械动作的主要来源。而梳齿结构在MEMS器件中有广泛的应用：微谐振器、微机械加速度计、微机械陀螺仪、微镜、微镊、微泵等。所以做为MEMS的重要驱动方式和结构形式，静电驱动梳齿结构MEMS器件的耦合场仿真分析以及优化设计对MEMS的开发具有很重要的意义。本课题的研究对静电驱动梳齿结构MEMS器件的设计具有较大的理论研究意义。 本文的研究工作主要包括以下几个方面： 1、采用降阶宏建模技术快速求解静电梳齿驱动器静电－结构耦合问题，降阶建模被用于表示微谐振器的静态动态特性。论文采用降阶建模方法详细分析了静电梳齿驱动器的各参数对所产生静电力以及驱动位移的关系；并对静电梳齿驱动器梳齿电容结构的静电场进行分析和模拟，深入讨论了边缘效应的影响；还对微谐振器动态特性的各个模态进行仿真分析，并计算分析了前六阶模态的频率和谐振幅值。仿真结果表明降阶建模方法能够快速、准确地实现多耦合域的求解。 2、从系统角度出发考虑了各个子系统对叉指式微机械陀螺仪特性的影响，系统详细地分析了与叉指状微机械陀螺仪性能指标－灵敏度密切相关的结构特性、电子电路、加工工艺和空气阻尼，并在此分析的基础上建立了陀螺的统一多学科优化模型并对其进行多学科优化设计。将遗传算法和差分进化算法的全局寻优与陀螺仪系统级优化相结合，证实了遗传算法和差分进化算法在MEMS系统级优化中的可行性，并比较遗传算法和差分进化算法的优化结果，差分进化算法的优化结果较大地改善了器件的性能。 3、从系统角度出发考虑了各个子系统对梳齿式微加速度计特性的影响，在对梳齿式微加速度计各个学科的设计要素进行分析的基础上，对各个子系统分别建立相对独立的优化模型，采用差分进化算法和多目标遗传算法对其进行优化设计。证实了差分进化算法和多目标遗传算法对多个子系统耦合的系统级优化的可行性，并比较了将多目标转换为单目标进行优化和采用多目标进行优化的区别和结果，优化结果使器件的性能得到了改善。
上传时间： 2013-05-15
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高精度惯性加速度计能够实现实时位移检测，在当今民用和军用系统如汽车电子、工业控制、消费电子、卫星火箭和导弹等中间具有广泛的需求。在高精度惯性加速度计中，特别需要稳定的低噪声高灵敏度接口电路。事实上，随着传感器性能的不断提高，接口电路将成为限制整个系统的主要因素。 本论文在分析差动电容式传感器工作原理的基础上，设计了针对电容式加速度计的全差分开环低噪声接口电路。前端电路检测传感器电容的变化，通过积分放大，产生正比于电容波动的电压信号。 本论文采用开关电容电路结构，使得对寄生不敏感，信号灵敏度高，容易与传感器单片集成。为了得到微重力加速度性能，设计电容式位移传感接口电路时，重点研究了噪声问题和系统建模问题。仔细分析了开环传感器中的不同噪声源，并对其中的一些进行了仿真验证。建立了接口电路寄生电容和寄生电阻模型。 为了更好的提高分辨率，降低噪声的影响如放大器失调、1/f噪声、电荷注入、时钟馈通和KT/C噪声，本论文采用了相关双采样技术（CDS）。为了限制接口电路噪声特别是热噪声，着重设计考虑了前置低噪声放大器的设计及优化。由于时钟一直导通，特别设计了低功耗弛豫振荡器，振荡频率为1．5M。为了减小传感器充电基准电压噪声，采用两级核心基准结构设计了高精度基准，电源抑制比高达90dB。 TSMC 0．18μm工艺中的3．3V电压和模型，本论文进行了spectre仿真。 关键词：MEMS；电容式加速度计；接口电路；低噪声放大器；开环检测
上传时间： 2013-05-23
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本文以f1禁系统的可靠性和低成本为立足点，提出了一种基于AT89C2051单片机的RF卡门禁系统设 系计方法。首先简单介绍了组成这个系统的非接触式IC卡，然后详细描述了其软硬件设计的过程。在实际的应用
上传时间： 2013-06-13
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印刷线路板制作技术大全-RF产品设计过程中降低信号耦合的PCB布线技巧
上传时间： 2013-07-08
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· 摘要： 通过分析小波分析法中的阈值去噪算法的原理,根据MEMS陀螺仪信号漂移的数学模型,采用了基于小波阈值去噪法对MEMS陀螺仪的输出进行实时消噪处理.并将该算法应用到基于DSP的某MEMS陀螺捷联惯导系统后对系统的MEMS陀螺仪进行零漂试验.通过整个系统试验结果分析,使用小波阈值去噪法对抑制MEMS陀螺仪零漂,改善MEMS陀螺仪的零偏稳定性具有很好的效果,肯定了小波阈值去
上传时间： 2013-04-24
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