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MEMS器件气密封装工艺规范

  • 资源大小:380 K
  • 上传时间: 2013-10-13
  • 上传用户:feiguohaihu
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: MEMS 器件 密封 工艺规范

资 源 简 介

MEMS是融合了硅微加工,LIGA和精密机械加工等多种加工技术,并应用现代信息技术构成的微型系统.

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