本书集作者多年来的实践经验与研究成果，系统地介绍了微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、X射线曝光技术、各种刻蚀技术和微纳米尺度的复制技术，对各种加工技术着重讲清原理，列举基本的工艺步骤，说明各种工艺条件的由来，并注意给出典型上艺参数，充分分析了各种技术的优缺点及在应用过程过程中的注意事项，全书强调实用，避免烦琐的数学分析，既注重基础知识又兼顾微纳米加工领域近年来的最新进展及在各高科技锁域的应用，并列举了相关参考文献供进一步深入研究，因此不论是对初次涉足这一领域的大专院校的本科生或研究生,还是对已经有一定工作经验的专业科技人员，都具有很好的参考价值。
标签： 微纳米加工技术
上传时间： 2022-07-10
上传用户：d1997wayne
高速加工技术及其在模具制造中的应用
上传时间： 2013-07-22
上传用户：eeworm
数控加工技术
上传时间： 2013-07-17
上传用户：eeworm
数控加工技术
上传时间： 2013-04-15
上传用户：eeworm
专辑类-机床电器-自控相关专辑-56册-498M 数控加工技术-325页-10.6M.pdf
上传时间： 2013-04-24
上传用户：akk13
％直接型到并联型的转换 ％ ％[C,B,A]=dir2par(b,a) ％C为当b的长度大于a时的多项式部分 ％B为包含各bk的K乘2维实系数矩阵 ％A为包含各ak的K乘3维实系数矩阵 ％b为直接型分子多项式系数 ％a为直接型分母多项式系数 ％
上传时间： 2014-01-20
上传用户：lizhen9880
直接型到级联型的形式转换 ％ [b0,B,A]=dir2cas(b,a) ％b 为直接型的分子多项式系数 ％a 为直接型的分母多项式系数 ％b0为增益系数 ％B 为包含各bk的K乘3维实系数矩阵 ％A 为包含各ak的K乘3维实系数矩阵 ％
上传时间： 2013-12-30
上传用户：agent
W5212单片机GPRS数据通讯开发套件是济南微电通讯信息技术有限公司开发的GPRS系列产品之一，主要满足客户用单片机、嵌入式MCU开发GPRS无线数据通讯的需要、为那些没有GPRS开发经验的用户提供高效的开发手段。开发人员只需将程序下载到单片机内即可进行GPRS数据通讯。
上传时间： 2016-02-20
上传用户：dancnc
B树及其B+树的实现代码，支持模版（数据类型，M值）
上传时间： 2016-02-22
上传用户：jhksyghr
用最新的微端口驱动技术开发的监视文件访问的驱动,用于扫描
上传时间： 2017-03-24
上传用户：hj_18
