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电容式硅微加速度计变换方程的研究

  • 资源大小:105 K
  • 上传时间: 2024-04-15
  • 上传用户:joshau007
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: 电容式 加速度计 变换

资 源 简 介

研究了利用硅薄片为敏感元件的电容式加速度计,加速度计的悬臂梁与惯性质量块是一
个整体结构,可以消除元件弹性连接的不完善性,而且极板间隙中空气相对介电常数εr 的高稳定性是这种电容式传感器的优点之

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