高量程加速度计的力学性能分析

资 源 简 介

提出一种计算加速度计灵敏度和频率的改进方法。该方法在计算微结构的灵敏度和频率时考虑质量块的变形及梁的质量。得到的结果表明,当梁与质量块的厚度比变得较大时,的上表面的最大拉应力值不再等于最大压应力值。该

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