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单晶硅各向异性腐蚀的微观动态模拟

  • 资源大小:368 K
  • 上传时间: 2024-01-26
  • 上传用户:ddk
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: 单晶硅 动态 腐蚀

资 源 简 介

根据单晶硅各向异性腐蚀的特点,以晶格内部原子键密度为主要因素,温度、腐蚀液浓
度等环境因素为校正因子,建立了一个新颖的硅各向异性腐蚀的计算机模拟模型。在+,--开发环境下利用./0123 技术,

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