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基于RBF网络的半导体扩散炉温度控制建模研究

  • 资源大小：131 K
  • 上传时间： 2024-05-14
  • 上传用户：yui0900826
  • 资源积分：2 下载积分
  • 标      签： 半导体

资 源 简 介

针对半导体扩散炉温度控制问题，提出采用RBF 神经网络控制方法。RBF 神经网络采用3-8-3 结构。建模表明，此RBF 网络数学模型具有良好的控制品质。
关键词：半导体扩散炉；RBF 神经网络

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