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高g值M EM S加速度传感器敏感元件的结构分析

  • 资源大小：348 K
  • 上传时间： 2024-05-13
  • 上传用户：yui0900826
  • 资源积分：2 下载积分
  • 标      签： EM 加速度传感器

资 源 简 介

介绍了几种高g 值M EM S 加速度传感器敏感元件的结构和原理, 并对其结构特性进行了分析, 最后给出了研究过程中所采用的圆膜片结构和仿真结果。
关键词:M EM S; 加速度传感器,

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