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微电子机械系统(M EM S)中的铁电器件

  • 资源大小:177 K
  • 上传时间: 2024-04-04
  • 上传用户:jimmy950583
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: EM 铁电

资 源 简 介

提出了一种将铁电材料与M EM S 集成的新趋势, 并介绍了几种在这种趋势下应运而生的最新的微传感器和微执行器。
关键词 M EM S 铁电材料 微传感器 微执行器

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