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超硬超厚类金刚石薄膜合成研究

  • 资源大小:444 K
  • 上传时间: 2024-02-25
  • 上传用户:pagedown
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: 合成

资 源 简 介

采用过滤真空阴极直流弧源(Filtered Cathodic Vicuum Arc Deposition, FCVA)方法沉积超硬(>6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜。

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