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微机电系统的发展与应用

  • 资源大小:171 K
  • 上传时间: 2024-02-07
  • 上传用户:lipengxu
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: MEMS 发展

资 源 简 介

微机电系统(MEMS)是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程,讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科,着重阐述了器件的具体分类、结构组

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