虫虫首页| 资源下载| 资源专辑| 精品软件
登录| 注册

您现在的位置是:虫虫下载站 > 资源下载 > 技术资料 > Si基膜片型气敏传感器微结构单元的热学性能

Si基膜片型气敏传感器微结构单元的热学性能

  • 资源大小:300 K
  • 上传时间: 2024-01-20
  • 上传用户:joshau007
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: 单元

资 源 简 介

微结构气敏传感器由于其微型化、低功耗、易阵列化和易批量生产等优点而受到国内外研究者的广泛关注。利用微机电系统(MEMS) 加工技术,制备Si 基膜片型微结构单元,并分析其热学性能。这种单元工作区温度为

相 关 资 源