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氮气流量对金刚石膜生长的影响研究

  • 资源大小:444 K
  • 上传时间: 2023-12-29
  • 上传用户:fliang
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: 氮气 影响

资 源 简 介

采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD)制备掺氮金刚石薄膜,研究了不同氮气流量对金刚石膜的生长速率、表面形貌和膜品质的影响。实验发现,在较低的氮气流量下,金刚石膜的生长速率增加,在较高的氮气流

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