提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究( 一)

资 源 简 介

表面微机械微小量程压力传感器采用多晶硅薄膜等有内应力的敏感膜片时,应力往往会
使膜片的力学灵敏度大大下降,无法满足微量程测量的要求。波纹膜片可以消除或减小应力来提高灵敏度,但是其波纹结构本身又会

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