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创新工艺解决微型MEMS的无缝互连挑战

  • 资源大小:224 K
  • 上传时间: 2023-10-26
  • 上传用户:lipengxu
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: MEMS 创新工艺 互连

资 源 简 介

本文介绍了解决微型 MEMS 无缝互连的创新工艺。

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