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叉指微加速度计的设计与闭环检测研究

  • 资源大小:225 K
  • 上传时间: 2023-10-25
  • 上传用户:jimmy950583
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: 微加速度计 设计与

资 源 简 介

设计了一种“叉指式”微机械加速度计和相应的闭环检测电路,介绍了此微加速度计的加工工艺,并使用Ansys 软件进行了模态分析和机械分析,仿真结果跟理论计算相吻合。最后对该闭环微加速度计进行了测试,得到的

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