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电容式微型真空传感器在真空绝热板生产中的应用研究

  • 资源大小：223 K
  • 上传时间： 2023-10-21
  • 上传用户：zhengtiantong
  • 资源积分：2 下载积分
  • 标      签： 电容式 微型 传感器

资 源 简 介

介绍一种基于电容式微型真空度检测系统。系统利用PIC 系列单片机对真空绝热板
真空进行实时测量，试验数据表明精度可达10-2Pa，完全满足测量的要求。

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