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离子束溅射镀膜机电源的研制

  • 资源大小:551 K
  • 上传时间: 2023-10-14
  • 上传用户:zinuoyu
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: 离子束 电源

资 源 简 介

本文介绍了离子束溅射镀膜机电源的设计方案,并着重阐述了短路保护电路、自动恢复电路和线性光电隔离电路的设计。测试结果表明:该电源能满足离子束溅射镀膜机设备的要求,现场运行稳定可靠

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