本文主要针对SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)
行业会所定义的SECS/GEM协议簇标准HSMS(High-Speed SECS Message Service)、SECS-IⅡ(SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content)、GEM进行分析与软件系统的实现,其主要的工作内容有:
1.通过对HSMS协议的分析,基于TCP(Transmission Control Protocal)
/IP(Internet Protocol)网络协议实现以Python 语言所表述的HSMS数据结构与二进制网络字节流之间的相互转换从而实现主机与半导体生产设备之间的数据通
信。实现HSMS-SS(High-Speed SECS Message Services Single-Session Mode)
Active 模式下的HSMS消息的逻辑处理、发送与接收以及超时处理。
2.通过对SECS-IⅡ协议的分析,以Python语言所表述的SECS-IⅡ消息结构,实现SECS-Ⅱ消息中的数据项ITEM以及列表LIST结构与二进制网络字节流之间的转换,SECS-IⅡ消息与HSMS消息之间的封包与解包,SECS-Ⅱ消息与SML语言之间的相互解析。
3.根据GEM所定义的标准,在主机与生产设备之间建立HSMS通信以
后,实现主机与生产设备之间通信状态与控制状态的初始化,建立生产设备参数
列表、报警管理、事件报告定义的初始化。