随着几乎所有产品种类对传感器的数量、类型与感应范围的要求的提高,实现这些传感器的难度也在成比例地增加。由效率、安全性与排放量引领需求的汽车领域尤其如此。现有的传感器技术已经不能达到其中许多新的和更严格的要求,从而促进了一种新的基于微机电系统 (MEMS) 的传感器的开发。这些新的传感器更小、更轻、更耐用、更便宜、功耗更低,和比它们更大的类似传感器相比,它们还能产生更小、非线性更高的电信号。
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