大功率超声波装置除用于工业清洗外，在食品、纺织、饮用水处理及石油行业中也有广阔的应用前景。超声波装置由超声波逆变电源和换能器组成。其所用的功率器材经历了电子管、晶闸管、晶体管和IGBT（或VDMOS）四个阶段，后一代产品比前一代产品在性能、效率、可靠性等方面都有所提高。特别是近年来由于在电路设计中采用了新型电路拓扑结构和新型功率器件（IGBT），超声波逆变电源的可靠性、负载适应性、产品一致性及效率得以大大提高，且产品的体积也随之减小。因此，新型IGBT超声波逆变电源代表了当今功率超声波逆变电源的发展潮流。
在大功率超声波装置中，换能器一般由压电陶瓷材料制成，其等效电路可由RLC串联电路再并以极板电容C'来表示[3]。当电路工作频率为换能器谐振频率时，其等效电路简化为R和C'的并联。
