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高性能MEMS电容压力传感器的设计及其热分析

资源大小：1044 K
上传时间： 2022-01-11
上传用户：得之我幸78
资源积分：2 下载积分
标签： mems 电容压力传感器

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高性能MEMS电容压力传感器的设计及其热分析

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