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MEMS中的常用材料参数

  • 资源大小：54 K
  • 上传时间： 2016-05-02
  • 上传用户：jzp_home_2009
  • 资源积分：2 下载积分
  • 标      签： MEMS 材料 参数

资 源 简 介

MEMS中的常用材料参数，这些参数在MEMS器件设计仿真过程经常会被用到。

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