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微电子技术的发展规律及趋势。介绍了微电子技术随特征尺寸缩小而存在的几个关键发展层次

  • 资源大小：2541 K
  • 上传时间： 2013-12-02
  • 上传用户：fansino
  • 资源积分：2 下载积分
  • 标      签： 电子技术 发展 特征 尺寸

资 源 简 介

微电子技术的发展规律及趋势。介绍了微电子技术随特征尺寸缩小而存在的几个关键发展层次，包括微细加工、互连技术、新器件结构及材料技术等。

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