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MEMS中的封装技术研究

  • 资源大小:241 K
  • 上传时间: 2016-07-26
  • 上传用户:leishenzhichui
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: MEMS 封装 技术研究

资 源 简 介

MEMS中的封装工艺与半导体工艺中的封装具有一定的相似性!因此!早期MEMS的封装
大多借用半导体中现成的工艺%本文首先介绍了封装的主要形式!然后着重阐述了晶圆级封装与芯片级封装&!’%最后给出了一些商业化的实例%

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