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温度传感器

  • 资源大小：188 K
  • 上传时间： 2015-12-03
  • 上传用户：uujk001
  • 资源积分：2 下载积分
  • 标      签： mems 温度传感器

资 源 简 介

本文设计一种基于表面微机械 MEMS加工工艺的微型传感器，具有体积小，灵敏度高，稳定性强等优点。

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