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> 硅谐振微传感器中微现象测量技术
硅谐振微传感器中微现象测量技术
资源大小:
216 K
上传时间:
2024-03-03
上传用户:
nicholas28
资源积分:
2 下载积分
标 签:
微传感器
资 源 简 介
主要论述硅谐振微传感器中微现象测量。讨论了微现象测量中有关的技术:激励功率控制,超声频谐振频率的测量,频率特性的测定,品质因数的确定,克服电热效应的不良影响,同频干扰的抑制等。
关键词: 信息
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